LF-N數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì)用于..調(diào)節(jié)進(jìn)入流化床的前驅(qū)體和反應(yīng)氣體流量，..每個(gè)沉積循環(huán)中氣體量的準(zhǔn)確性。在流化床粉末原子層沉積（PALD）設(shè)備中，流量計(jì)的作用至關(guān)重要，主要用于..控制和監(jiān)測氣體流量，..工藝的穩(wěn)定性和薄膜沉積的均勻性。

在原子層沉積（ALD）依賴于交替引入前驅(qū)體氣體，流量計(jì)的..控制是實(shí)現(xiàn)單原子層沉積的關(guān)鍵。流量計(jì)通過控制流化氣體的流量，..粉末顆粒在流化床中均勻懸浮。穩(wěn)定的流化狀態(tài)是粉末表面均勻覆蓋薄膜的前提，流量計(jì)通過調(diào)節(jié)氣體流量維持這一狀態(tài)。幫助優(yōu)化反應(yīng)氣體與前驅(qū)體的比例，..反應(yīng)充分進(jìn)行。適當(dāng)?shù)臍怏w比例能提高薄膜質(zhì)量，減少雜質(zhì)。

LF-N數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì)能實(shí)時(shí)監(jiān)測氣體流量，并將數(shù)據(jù)反饋給控制系統(tǒng)，自動(dòng)調(diào)整閥門以維持設(shè)定值。實(shí)時(shí)反饋..工藝條件穩(wěn)定，減少人為誤差。通過..控制氣體流量，流量計(jì)..每次實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)的工藝條件一致提高工藝重復(fù)性和一致性，這對大規(guī)模生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室研究中的結(jié)果可靠性至關(guān)重要。，減少氣體浪費(fèi)并防止過量氣體進(jìn)入系統(tǒng)。提高了氣體利用率，降低了成本，同時(shí)減少了..隱患。