LF-N數(shù)字式氣體質量流量計用于..調節(jié)進入流化床的前驅體和反應氣體流量，..每個沉積循環(huán)中氣體量的準確性。在流化床粉末原子層沉積（PALD）設備中，流量計的作用至關重要，主要用于..控制和監(jiān)測氣體流量，..工藝的穩(wěn)定性和薄膜沉積的均勻性。

在原子層沉積（ALD）依賴于交替引入前驅體氣體，流量計的..控制是實現(xiàn)單原子層沉積的關鍵。流量計通過控制流化氣體的流量，..粉末顆粒在流化床中均勻懸浮。穩(wěn)定的流化狀態(tài)是粉末表面均勻覆蓋薄膜的前提，流量計通過調節(jié)氣體流量維持這一狀態(tài)。幫助優(yōu)化反應氣體與前驅體的比例，..反應充分進行。適當?shù)臍怏w比例能提高薄膜質量，減少雜質。

LF-N數(shù)字式氣體質量流量計能實時監(jiān)測氣體流量，并將數(shù)據(jù)反饋給控制系統(tǒng)，自動調整閥門以維持設定值。實時反饋..工藝條件穩(wěn)定，減少人為誤差。通過..控制氣體流量，流量計..每次實驗或生產的工藝條件一致提高工藝重復性和一致性，這對大規(guī)模生產和實驗室研究中的結果可靠性至關重要。，減少氣體浪費并防止過量氣體進入系統(tǒng)。提高了氣體利用率，降低了成本，同時減少了..隱患。