現(xiàn)在一些行業(yè)企業(yè)需要對氣體的質(zhì)量流量進行測量和控制。氣體流量控制器主要用于對于氣體的質(zhì)量流量進行測量和控制，廣泛用于石油化工，冶金，制藥等行業(yè)。那么，讓我們一起來看一下氣體流量控制器的工作原理。

氣流進入進氣管道街頭后大部分流量流過分流器通道，其中很小一部分進入傳感器內(nèi)部的毛細鋼管。由于分流器通道的特殊結(jié)構(gòu)，可以實現(xiàn)這兩部分氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)過預(yù)熱加溫，里面的溫度高于進入的氣流溫度，此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理測量這一小部分氣體的質(zhì)量流量。

用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經(jīng)過放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設(shè)定信號進行比較，以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥，使得流量檢測信號與設(shè)定信號相等，這樣便實現(xiàn)了MFC的功能。

對于一些廠家而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min），這個要求是很容易實現(xiàn)的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù)，可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現(xiàn)。所以說，在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

該產(chǎn)品采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補償)，將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
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